氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的氣體檢測(cè)儀器，它利用了帶電粒子在磁場(chǎng)中偏轉(zhuǎn)的原理來(lái)識(shí)別不同原子量的氣體。其工作過(guò)程如下：首先將待測(cè)容器充入惰性氣體（主要是氮?dú)猓?，然后將管路接通真空泵進(jìn)行抽空處理；接著打開(kāi)進(jìn)樣閥使被探測(cè)的氣體進(jìn)入靜電引弧極間形成輝光放電而被離子化、激發(fā)而產(chǎn)生正負(fù)電子流；之后由穩(wěn)壓電源供給高壓于陰板和陽(yáng)板上分別收集這些自由電子并維持兩板的導(dǎo)電回路閉合電路；通過(guò)測(cè)量出電流強(qiáng)度即可確定泄漏率的大小或樣品中的質(zhì)量分?jǐn)?shù)含量。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測(cè)和測(cè)量微小泄漏的設(shè)備，主要用于航空航天、汽車(chē)制造等領(lǐng)域。它利用高純度惰性氣體——氦氣作為示蹤劑，通過(guò)收集和分析從泄釋放出來(lái)的氦氣來(lái)定位并定量測(cè)量的實(shí)際物理參數(shù)值的大小與位置。
該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍廣泛且多樣化：在飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)上可以檢查油箱是否存在滲漏；對(duì)密封條橡膠制品中的缺陷及龜裂等進(jìn)行檢驗(yàn)，以評(píng)價(jià)輪胎質(zhì)量的好壞等。此外,還可以用來(lái)確定真空器件或容器法蘭結(jié)合面的嚴(yán)密情況;在半導(dǎo)體行業(yè)可監(jiān)控半導(dǎo)體制程中可能出現(xiàn)的問(wèn)題等等方面有著重要的作用。
真空箱氦檢漏系統(tǒng)主要用于檢測(cè)電子產(chǎn)品的密封性能，常用于手機(jī)、筆記本電腦等產(chǎn)品在量產(chǎn)線(xiàn)上的可靠性和一致性測(cè)試。該系統(tǒng)的操作原理是：首先將待測(cè)電子產(chǎn)品放入真空氣氛室中抽真空并充入高純度惰性氣體——氦氣；然后通過(guò)的信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生高頻電脈沖或機(jī)械振動(dòng)源（聲學(xué)法），均勻地輻射到被測(cè)樣品上形成特定的應(yīng)力場(chǎng)；接著利用示蹤粒子“氦”原子無(wú)色透明且易與環(huán)境介質(zhì)充分滲透的特點(diǎn)，使氦氣的濃度能夠迅速傳遞到達(dá)泄漏點(diǎn)并在其中彌散和溶解起來(lái)；使用靈敏的測(cè)量?jī)x器對(duì)抽取到的含有微小泄露物的樣本進(jìn)行定量分析以得出樣品的實(shí)際壓力值并與參考標(biāo)準(zhǔn)相比較來(lái)判斷是否合格。
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