航天技術(shù)的不斷發(fā)展， 泄漏問題已經(jīng)成為航天產(chǎn)品設(shè)計制造中必須考慮的關(guān)鍵因素，越來越多的收到各方關(guān)注，相關(guān)電子元器件漏率檢測已經(jīng)引起科研人員的高度重視，目前應(yīng)用檢漏技術(shù)的主要是為密封繼電器、集成電路 外殼。.利用氫質(zhì)譜檢漏儀可以方便地對密封繼電器作漏率測定。針對不同的產(chǎn)品，采用合適的檢漏方法。目前密封繼電器的漏率檢測主要是GJB360A-96的112實驗程序。
氦質(zhì)譜檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專門用于檢漏的儀器，它性能穩(wěn)定，靈敏度高，是真空檢漏技術(shù)中較成熟的設(shè)備，使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業(yè)人員的安全以及環(huán)境保護，氦質(zhì)譜檢漏儀成為化工管道檢漏的的選擇。氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應(yīng)依照由下而上， 由近而遠(yuǎn)的順序進行。對檢漏方法的要求：穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；
氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：冶金——真空電爐；低溫與壓力容器——液氮和液氦儲存罐、生物制品容器及各類壓力容器；輕工產(chǎn)品——保溫杯、太陽能集熱管、飲料罐口等。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：電力工業(yè)——高壓開關(guān)、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng)；電力工業(yè)——電子器件、半導(dǎo)體、傳感器和積成電路；氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：原子能工業(yè)——氣體擴散處理系統(tǒng)；高能物理研究院——及其配件；
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