真空檢漏 向各個加熱電極、爐體水套等通水腔體內(nèi)噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進行包裹罩封,然后向罩中噴入氮氣，觀察檢漏儀的漏率變化,如果緩慢上升,說明被包裹的位置存在漏點。 極限壓力不合格，升壓率合格 這種情況原因通常出現(xiàn)在粗抽閥到機械泵部分的各個連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。
對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用被檢工件裝配面或疑是漏點進行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過規(guī)定值即為有漏。對于體積較大的工件，采用背壓發(fā)，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。漏孔距離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時間也不同，所以噴氦氣應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開始由近至遠進行。
為了避免事故的發(fā)生，化工廠商在投建廠房時就應(yīng)該對化學(xué)管道和設(shè)備做氣密檢漏并且后期生產(chǎn)中也需要定期檢漏。氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。對檢漏方法的要求：檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；反應(yīng)時間短，可以提高工作效率；根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行，經(jīng)濟實用。
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