氦質譜檢漏儀的內部一般有標準漏孔，可將標準漏孔拆卸進行校準，如果不能單獨校準標準漏孔，就可考慮直接通過氦質譜檢漏儀進行漏率部分的校準。氦質譜檢漏方法在真空檢漏技術領域里已經得到廣泛的應用,這種方法的優(yōu)點是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10 -11 Pam3 / s 數量級,儀器響應快,將氦質譜檢漏儀與試件用真空橡皮管連接,在試件上用密閉的容器罩住,在容器里充入氦氣,檢漏儀開始檢漏,如果試件有漏點,儀器就可以顯示其漏率;
消費者在選購氦質譜檢漏儀時必須要注意這種儀器自身的能力和消費的需求，并且在挑選氦質譜檢漏儀時注意這種設備的價格和操作模式，檢漏儀具備強的數據監(jiān)控和存儲能力，為了保證更好的操作效果和數據的保存能力，在這種氦質譜檢漏儀的日常運轉之中可以方便的將檢測的數據輸出并且進行查詢，消費者應用這種氦質譜檢漏儀能夠從根本上保證這種產品擁有良好的應用價值，在我國更多的產品漏率檢查之中原先更好的技術支持，因此氦質譜檢漏儀的優(yōu)勢更保證了我國產品漏問題檢查的質量。
氦分子在儀器高真空的環(huán)境中擴散的速度很高;所以氦質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用,選購檢漏儀時注意檢漏需求和設備功能的匹配度，不同的產品檢漏操作時所需要的模式等都有著顯著的區(qū)別，消費者在選購氦質譜檢漏儀時必須要根據產品的檢測功能需求進行挑選，檢漏儀全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。
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